CS300氣體質(zhì)量流量控制器是七星流量計專(zhuān)門(mén)為大規模集成電路裝備設計的產(chǎn)品，該產(chǎn)品在原有CS200氣體質(zhì)量流上，采用了基于DF的壓力信號補小償算法，全量控制器的基礎新的金屬表面處理工藝，產(chǎn)品各項技術(shù)指標均嚴格按照SEM標準，支持Ⅵ型，C型GS氣路系統。
CS300氣體質(zhì)量流量控制器是七星流量計專(zhuān)門(mén)為大規模集成電路裝備設計的產(chǎn)品，該產(chǎn)品在原有CS200氣體質(zhì)量流上，采用了基于DF的壓力信號補小償算法，全量控制器的基礎新的金屬表面處理工藝，產(chǎn)品各項技術(shù)指標均嚴格按照SEM標準，支持Ⅵ型，C型GS氣路系統。
CS300氣體質(zhì)量流量控制器優(yōu)勢：
• 準確度采用設定點(diǎn)精度，產(chǎn)品精度可達±1.0% S.P.，響應時(shí)間*快≤ 0.5sec。
• CS300系列產(chǎn)品可帶有壓力補償功能，對前段氣體壓力的擾動(dòng)進(jìn)行有效的補償，減少壓力變化對瞬時(shí)流量影響，從而保證產(chǎn)品工作的穩定性和準確性。
• 采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時(shí)進(jìn)行相應的補償，從根本上抑制了流量計的零漂現象，保證了傳感器線(xiàn)性。
• 產(chǎn)品采用專(zhuān)門(mén)的金屬表面處理技術(shù)，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS300C產(chǎn)品金屬表面粗糙度更可達5RA以下，嚴格按照SEMI標準生產(chǎn)制造。
技術(shù)參數
CS300 | ||||||||
型號 | CS310C | CS320C | CS310D | CS320D | ||||
閥類(lèi)型 | 常開(kāi)或常閉 | 無(wú) | 常開(kāi)或常閉 | 無(wú) | 常開(kāi)或常閉 | 無(wú) | 常開(kāi)或常閉 | 無(wú) |
流量規格(N2) | (0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | |||||||
準確度 |
| |||||||
線(xiàn)性 | ±0.5% F.S. | |||||||
重復精度 | ±0.2% F.S. | |||||||
響應時(shí)間 | ≤ 0.8sec （≤ 0.5sec optional） | |||||||
工作壓差范圍 | 0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM | ＜0.02 MPa |
溫度系數 | 零點(diǎn)：≤±0.02% F.S./℃；調節時(shí)：≤±0.05% F.S./℃ | |||||||
耐壓 | 3.5 MPa | |||||||
漏率 | 1×10-11 Pa·m3 / sec He | |||||||
密封材料 | 金屬密封 | |||||||
大工作壓力 | 0.45MPa | |||||||
工作環(huán)境溫度 | （0～50）℃ | |||||||
輸入信號 | 數字：RS485 或 DeviceNet | 無(wú) | 數字：RS485 或 DeviceNet | 無(wú) | 數字：RS485 或 DeviceNet | 無(wú) | 數字：RS485 或 DeviceNet | 無(wú) |
輸出信號 | 數字：RS485 或 DeviceNet | |||||||
零漂 | 在沒(méi)有零點(diǎn)校正時(shí)＜0.6%F.S./年 | |||||||
電源 | ±8～±16 VDC (雙極) 或 +14～+28 VDC (單極) | |||||||
表面化學(xué)成分 | Cr/Fe比例≥2.0；CrO 厚度≥20 （埃） | - | ||||||
表面粗糙度 | Ra 5μinch | |||||||
標準接頭形式 | VCR1/4陽(yáng)接頭； | 1.5″B型密封接頭 | VCR1/4陽(yáng)接頭； | 1.5″B型密封接頭 | ||||
電源接頭形式 | D型9針陽(yáng)接頭；D型15針陽(yáng)接頭；DeviceNet接頭 | |||||||
重量 | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg |
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