CS200-A型數字式氣體質(zhì)量流量控制器性?xún)r(jià)比高，高精度，多氣體多量程，自動(dòng)調零，量程5sccm-50slm ，橡膠密封，通訊方式：模擬0-5V、模擬0-10V、數字485、DeviceNet
CS200-A型數字式氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
CS200-A型質(zhì)量流量控制器是高性?xún)r(jià)比產(chǎn)品，高精度，多氣體多量程，自動(dòng)調零，量程5sccm-50slm ，橡膠密封，通訊方式：模擬0-5V、模擬0-10V、數字485、DeviceNet
技術(shù)參數：
產(chǎn)品型號 | CS200-A型 |
產(chǎn)品類(lèi)型 | 高精度型,快響應型,數字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾 |
流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm,50slm |
產(chǎn)品精度 | ±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.) |
重復精度 | ±0.2% FS |
線(xiàn)性 | ±0.5% F.S. |
響應時(shí)間 | ≤1sec |
工作溫度范圍 | (5~45)°C |
耐壓 | 3MPa |
密封材料 | 氟橡膠Viton |
輸入輸出信號 | (0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet,Profibus |
電源 | ±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC |
閥類(lèi)型 | 常開(kāi)(流量量程≤30slm)或常閉 |
溫度系數 | Span: ≤±0.1% F.S./℃（≤30slm）,Zero: ≤±0.05% F.S./℃ |
零點(diǎn)飄移指標 | ＜0.6%F.S. per year without autozero |
電氣連接 | Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male |
工作壓差范圍 | (0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm）,(0.2～0.45) MPa（30slm＜F.S.） |
漏率 | 1×10-9atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He） |
標準接頭形式 | 雙卡套1/4"(滿(mǎn)量程≤30slm),雙卡套1/8"(滿(mǎn)量程≤5slm),雙卡套Φ3 (僅適用于滿(mǎn)量程≤5slm產(chǎn)品),雙卡套Φ6(僅適用于滿(mǎn)量程≤30slm產(chǎn)品),雙卡套Φ10,雙卡套3/8",VCR1/4",VCO1/4" |
表面化學(xué)成分 | - 無(wú) - |
表面粗糙度 | 25µinch |
抗電磁干擾 | CE |
重量 | 1Kg |
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